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[ Fluoro Excel ] 반도체 주변기기의 오링에 대해서 일반불소고무(VITON)은 내용제성,무기산에 다소 문제가 있고 또 가수분해성,내프라즈마성에도 문제가 있다. 이것을 보완하여 FLUORO EXCEL에서는 내프라즈마성을 PERFLUORO에 버금가게 개발한 제품으로서 가격적으로는 PERFLUORO보다 저렴하면서 장수명 더스트 저감등에 많은 효과를 발휘하고 있다. Fluoro Excel W
- 필러에
카본을 사용하지 않는다. Fluoro Excel W80
- W이면서 경도를 80까지 올려서 내응력성을 향상시킴. Fluoro Excel 415
- 필러에 중금속을 사용하지않았으므로 파티클이 아주 작다. Fluoro Excel 430
- 특수필러를 사용하여 W보다도 내약품성,내가스성,내프라즈마성에 유리. Fluoro Excel 403
- 특수필러를 배합한 비점착 타입으로 드라이에어 환경에서 바이톤보다 파티클이 1/10 임 플라즈마 특성
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